物理学院按照“南京大学大型贵重仪器设备共享平台建设与管理办法”的要求,确定仪器由专人负责管理和对外共享。目前我院下辖有微加工中心、纳米加工与表征技术中心、环境材料与再生能源研究中心三大服务平台。
微加工中心于2009年成立。微加工中心隶属于南京大学物理学院、固体微结构物理国家重点实验室、2011人工微结构科学与技术协同创新中心和微结构国家重点实验室(筹)。本中心现有专职工艺人员11人,拥有近1000平方米的超净实验室,配置了薄膜沉积、光刻、刻蚀和测试等国内外同领域先进设备,可以提供精度从微米到纳米尺度、集工艺加工一一器件测试于一体的微纳加工服务,可实现分辨率8nm以上,晶元尺寸8英寸以下的硅基、化合物半导体、常见金属、介质、压电、磁性等材料的微纳加工培训、委托加工服务,年均加工机时约30000小时,为南京大学校内外300余课题组/公司提供微纳加工服务,具有人工微结构、微纳电子、光电子器件和各种传感器等研制开发的丰富经验。
纳米加工与技术表征中心
2001-2003年由闵乃本院士牵头,物理系、材料系、电子系、微结构国家实验室(筹)和固体微结构物理国家重点实验室共同筹建。
旨在服务凝聚态物理,材料科学,微纳光学等研究领域。
一期购入大型仪器:聚焦离子束电镜,透射电子显微镜,扫描电子显微镜等。
2010-2014年物理学院与固体微结构物理国家重点实验室仪器设备采购拨款,购入二期没备:氦离子电镜,双束电镜,等离子刻蚀系统,电镜制样设备等。
2017-2019年固体微结构物理国家重点实验室两次拨款,补充中心的硬件资源,购入:低电压高分辨扫搆电镜,全中心电镜能谱仪及附件设备更新。